Szczegóły publikacji
| Autorzy | B.V. Ykshinskiy, R. Wasielewski, E. Loginova, M.N. Hedhili, Theodore E. Madey |
| Temat publikacji | DIET processes on ruthenium surfaces related to extreme ultraviolet lithography (EUVL) |
| Magazyn | Surface Science |
| Nakład | 602 |
| Rok publikacji | 2008 |
| Strony | 3220-3224. |